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《电子工业专用设备》2019年03期

 
目录
半导体制造工艺与设备
籽晶偏向对高纯半绝缘4H-SiC晶体影响的研究侯晓蕊;王英民;魏汝省;李斌;王利忠;田牧;刘燕燕;淮珍;王程;王光耀;1-3+16
光刻机物镜主动阻尼接口设计及测量系统布局葛黎黎;周畅;朱岳彬;4-8
龙门式机床基础件的设计与分析何玲;包尔恒;9-12
全自动硅片下料机碎片分析与优化设计段建国;穆星泽;13-16
硅晶片激光标识工艺参数的研究李静坤;常耀辉;吕菲;刘娜;17-19+59
一种主动隔振系统速度传感器信号控制器设计李俊丽;20-24
基于MVC架构的CMP软件模块开发研究孔宪越;孟晓云;杨元元;25-28
无线射频识别技术在CMP设备中的应用刘志伟;胡孝伟;张金环;29-32
金刚线在硅晶体切割领域的应用研究赵雷;李欢;胡孝伟;33-36先进封装技术与设备
扇出型芯片键合设备开发思路及整机框架结构设计与仿真郭耸;张瑞平;赵滨;37-41
论扫描声学显微镜在电子封装中的应用刘玲玲;谭伟;范丹丹;崔亮;刘红杰;段杨杨;42-45
加热吸附平台表面翘曲问题研究郎平;王军帅;高泽;刘子阳;刘文平;46-49
消除SOT产品压筋的方法郑娟莉;杜椿楣;50-55
全自动涂胶设备及涂胶工艺的研究艾博;周占福;吕磊;56-59电子专用设备研究
基于STM8单片机激光控制器的设计彭华东;宋波;60-62
封帽机同轴精度分析及结构改进庄园;王元仕;63-66+71
基于应用的光伏电站电缆优化设计黄超辉;陈勇;任守宏;67-71企业之窗_公司与新品介绍
奥特斯在2018/19财年销售额和息税折旧及摊销前利润再创纪录72-74
微机电测试设备领导品牌AFORE结盟蔚华科技进军大中华市场Janey;74-75
优化制程管控给大陆封装厂进阶提速Janey;75-76
产业铺路者Brewer ScienceJaney;76-77
掀开新篇章,制程控制设备商KLA拓宽商业版图Janey;77-78
对标先进封装和Mini LED,库力索法推重磅新品Janey;78-79
家登精密将加速200 mm晶圆载具及相关产品通过认证Janey;79-80
蔚华科技携手高功率半导体测试专家ShibaSoku抢攻大中华区车用电子测试市场Janey;80-81
国产设备持续差异化进阶,盛美半导体推出三款新产品Janey;81-82
成功导入扇出型面板级封装,亚智科技挟丰富经验提供跨领域整合技术Janey;82-83
是德科技调整运营模式,完整智能化解决方案贴合客户需求Janey;83-84
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